半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体,气体管路系统(真空管路)的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中!
为什么选择伯东？
伯东公司成立于1953 年，超过65年历史。
上海伯东所有产品保证100%原装进口，拥有强大售后服务团队，拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。
上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区唯一指定总代理商.
上海伯东美国 HVA 插板阀优势：
- 满足高真空（1E10-9 mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）应用；
- HVA 闸阀口径 DN 16 至 800 mm；
- 坚固耐用，超长使用寿命，可达1,000,000 启动次数；
- 清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等完美联用；
- 双向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S；
- 可选择驱动方式多，手, 气, 电动可选；
- 有效保护分子泵。气动和电动均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用；
- 标准或定制法兰满足不同应用；
- 国际标准，全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口。
美国 HVA 超过40年的阀门研发生产经验,与友厂对比,HVA 闸阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.
在售产品：
- HVA 真空闸阀, 真空插板阀 11000 系列
- HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列
- HVA 真空闸阀, 真空插板阀 81000 系列
- HVA 铝制真空闸阀, 真空插板阀 83000 系列
- HVA 三位真空闸阀, 真空插板阀 21700 系列
- HVA 真空闸阀, 真空插板阀 71000 系列
- HVA 真空隔离闸阀 16000 系列
- HVA 真空层流闸阀 13000系列
- HVA 真空闸阀 72000 系列
- HVA 真空角阀 4000系列
- HVA 半矩形真空闸阀 28200系列
- HVA 闭合回路闸阀 21800系列
- HVA 矩形板阀 28200＆88200 系列
- HVA 真空闸阀 31200 系列
上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作！
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