100级无尘烤箱CM-100T概述:
晶圆PI胶固化烤箱CM-100T是参照 Federal Standard(FS)209E 无尘等级规格研发制造,广泛应用于电子液晶显示屏、LCD、CMOS、IC、实验室等生产及科研部门。采用平面水平送风,然后经过进口HEPA Filter装置 (特殊风道设计)送风,过滤效率可达99.99%,满足Class 100级无尘规格,排气口为3"φ(附自动启闭风门功能),以达到强烈循环的效果。
100级无尘烤箱CM-100T箱体结构:
·烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热器及风道系统部分组装而成,结构合理,外型美观大方
·全周氩弧焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电加热器,防止机台本身产生微尘
·箱体材料:SUS304#不锈钢板
·内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,
·并经碱性苏打水清洁,去油污以避免烘烤时产生微尘
·中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,
·并经碱性苏打水清洁,去油污及氩弧焊密封加工(防污染)
·保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K级高密度高保温板制造
·电热器:采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER),为无尘化电热发生器
·洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料
CM-100T(100级无尘烤箱)规格:
无尘等级 Class 100
温度范围 室温~+250℃
升温速度 常温~+200℃, 升温斜率程序可控
温度均匀度 ±1%;(空载)
温度精确度 ±1℃;(空载)
工作室尺寸 W600×H550×D500 mm
外形尺寸 W1100×H1700×D1220 mm
加热功率 14kw
层板 共2片
环境条件 温度 5~40℃;湿度 ≤85%R.H
电源 AC380v , 三相,50Hz
气压 86~106Kpa
使用条件 无强烈振动,无强磁场影响,无腐蚀性气体
箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用
了解更多:http://www.hapoin.com/oven/cm-100t.htm
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