1高达六轴的精确运动
2所有轴非接触直接驱动
3X-Z轴2.5nm分辨率,Y轴2nm分辨率
4T-P-R直接驱动转轴
5所有转轴分辨率在0.027to0.058秒
632轴交钥匙驱动和控制系统
7光栅螺旋功率波动运算法则,工业标准长度电源线接口
8ZeroZ低轮廓选项
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FiberMax 系统
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