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1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
更多技术内容及应用请咨询销售工程师程健186（1288）5992
ABL3600气浮平台
网址:http://www.shangtaiw.com/b2b/renishaw/sell/itemid-94217.html