■掺杂,又称配料,掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质(如磷)或受主杂质(如硼)的杂质浓度,使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。块状
硼
P
0.001-0.006 Ω.CM
0.0005
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P/N型片状母合金掺杂剂
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