某知名品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
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阀门材质: |
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- 阀门主体 |
304 不锈钢 |
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- 焊接波纹管轴封 |
AM - 350 |
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阀门密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡胶 |
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- 超高真空 |
铜垫圈 / 氟橡胶 |
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真空: |
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- 压力范围 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差压关闭 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤温度（不含电磁阀）: |
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- 弹性体密封阀盖 |
150°C |
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- 金属密封阀盖 |
-开启温度：200°C -关闭值：150°C |
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- 驱动方式 |
手动 60 °c, 气动 60 °c |
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机制 |
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手动： |
手摇曲柄 |
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电磁阀供电电压 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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电磁阀可选电压 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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电磁阀位置指示器,最大 |
115 VAC |
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气动送风： |
80 psig |
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使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) |
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公称通径: DN 16 - 800 mm |
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E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.
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HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机
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